沿線超高潔凈氮?dú)怆x子產(chǎn)生器
產(chǎn)品型號：4214
產(chǎn)品廠商：
簡介：Simco-Ion 沿線超高潔凈氮?dú)怆x子產(chǎn)生器型號 4214 是特別為了電離氮?dú)舛O(shè)計，能把電離氮?dú)獾碾x子送至超高潔凈要求的半導(dǎo)體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮?dú)怆x子產(chǎn)生器都要求在氮?dú)饬鲀?nèi)加進(jìn)少許氣體以產(chǎn)生離子，而這個先進(jìn)工藝的離子產(chǎn)生器采用一個小而高效的電源，就可電離氮?dú)狻?
型號 4214 離子產(chǎn)生器利用高頻交流電離技術(shù)，能提供快速的消散時間，有效地中和靜電。微控處理和細(xì)小體積，能容易整合需要氮離子產(chǎn)生器的設(shè)備。超高潔凈的設(shè)計和內(nèi)置微粒采集系統(tǒng)，能確保是*干凈的離子產(chǎn)生器，兼容和提供要緊半導(dǎo)體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮?dú)馔ㄟ^型號 4214，產(chǎn)生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class1潔凈度，適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術(shù)制程工作。